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            箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

            箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

            銷售咨詢熱線:181 3605 7999

            產品展示

            項目

            規格

            主機尺寸

            1955W x 1580D x 1750H mm

            真空腔體尺寸

            1020W x 1330D x 913H mm

            電極板配置

            16 片垂直電極板,15 個處理位置

            有效區域

            1100W x 615H mm

            等離子體電源

            10kw-20kw

            電極溫度

            35~95℃,模溫恒定控制,待機狀態也能保持溫度不變,省去預熱時間

            工藝氣體控制

            標配:
            O2、N2:0~5000sccm;
            CF4:0~400sccm;
            Ar:0~2000sccm;
            可選:
            額外一路工藝氣體,流量范圍可定制

            真空檢測

            0.01Torr~760Torr

            工作氣壓

            0.15~0.3Torr,控制精度 0.2mTorr

            人機界面觸摸屏

            中文界面,模擬圖文顯示;操作員、工程師權限分級;

            真空泵組

            選配

            型號指示燈

            三色指示燈,帶報警蜂鳴器

            系統重量

            ~3.5 噸,包含主機、泵組、模溫機

            空間需求

            4000 x 4000 x 2200(H)mm

            電源需求

            AC380V 三相五線,50Hz/100A,30kW

            壓縮空氣需求

            潔凈、干燥,0.5~0.8MPa

            工藝氣體需求

            0.3~0.5MPa,純度>99.9%

            廠務冰水需求

            20℃,20L/min (模溫機采用水冷式需求冰水,風冷式無該項)

            抽風系統

            >100 立方/min (模溫機采用風冷式需求熱排風,水冷式無該項)

            廢氣管道

            >3 立方/min,中央廢氣系統,DN50

            環境溫濕度

            20~30℃,30%~70%RH


            上一條 已經是第一篇
            下一條 真空卷對卷垂直式

            本文標簽:

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            電話:181 3605 7999
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